SRM640標準硅粉的來源和認證

SRM640標準硅粉從Siltronic AG（德國慕尼黑）獲得。粉碎由Hosokawa Micron Powder Systems（Summit，NJ）進行。

SRM640標準硅粉的認證方法：使用NIST制造的衍射儀[3]的數據進行認證，并使用Pawley方法通過基本參數法（FPA）進行分析。這些分析用于驗證均勻性和驗證晶格參數。按照國際單位制（SI）的定義，通過使用Cu Kα輻射的發射光譜作為構建衍射輪廓的基礎，建立了認證晶格參數值與基本長度單位的聯系。

使用FPA，衍射輪廓被建模為描述波長光譜、衍射光學器件的貢獻以及微結構特征產生的樣品貢獻的函數卷積。對發散光束儀器的數據進行分析需要了解衍射角和有效源樣品檢測器距離。因此，FPA分析中還包括兩個額外的模型，以說明樣本高度和衰減的影響。根據對測量誤差性質的了解，在統計分析分配的A類不確定性和B類不確定性的背景下對認證數據進行分析，以確定認證值的穩健不確定性。

在粉碎之前驗證單晶硅材料的均勻性。這些測量是在NIST晶格比較設備[7]上使用從所提供材料中獲得的11個晶體樣品進行的?？偣策M行了32次晶格比較測量，涵蓋了縱向和徑向的晶球方向。

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