SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品使用

SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面(標準品)主要用于校準表面分析中的濺射深度標度和腐蝕速率。其周期性結構由八個定義明確的金屬/金屬界面組成，可用于在多個深度獲得精確校準。 SRM 2135c 已通過總鉻 (Cr) 和鎳 (Ni) 厚度、單元素層間均勻性、Ni 和 Cr 雙層均勻性（周期性）和單層厚度 [1-3] 的認證。以質(zhì)量/面積為單位表示的認證厚度值在題為“認證值和不確定性”的部分中給出。

SRM 2135c 的一個單元由拋光的硅 (100) 基板上的九個交替金屬薄膜層、五層純鉻和四層純鎳組成。各個層的厚度通常為 57 nm（Cr 為 57 nm，Ni 為 56 nm）。經(jīng)認證的樣品面積由基材的全寬（1.0 厘米）和以 2.54 厘米長的基材為中心的 2.0 厘米長度確定（見圖 l）。

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